Physik Instrumenteの圧電ポジショニングステージ

ストローク: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 5 µm

... 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - コントローラー FMC400/450 オプション 技術データ - トラベル: 100 mm - 300 mm - 繰り返し精度 ± 0.015 µm (一方向) ± 0.02 µm (双方向) - 荷重： → 98 N / ↑ 58 N - 最大速度: 10 ...

ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm

... MT53 高分解能マイクロステージ 用途：多目的マイクロステージ 利点：高分解能スキャン用 特徴：非常に高い分解能での位置決め - 真空：HV/UHVの全圧力範囲、10E-11mbarまで - 潤滑：液体潤滑（10E-8mbarまで）/ドライ潤滑（10E-11mbarまで - 磁気: 磁気 - 最高ベークアウト温度120°C ...

ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... XYZ位置決めシステム（MT105など）と組み合わせ可能 - 回転アプリケーション用の回転ステージ（DT105など）と組み合わせ可能 - コントローラ FMC400/450 をオプションで提供 技術データ - トラベル：50 mm - 繰り返し精度 ± 0.3μm、±0.5μm（一方向） ...

ストローク: 26 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... 移動量26mm、法線方向の力30Nを実現しています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサーを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1740の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... の力は30Nで、寸法は50×17×8.5mmです。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1750の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 41 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... 移動範囲41mm、法線方向の力30Nを実現しています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサーを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1760の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 10 mm
速度: 1.5 mm/s

... 当社のポートフォリオの中で、22 x 15 mm フットプリントのコンパクトな設計最小の製品を持つ10mm 旅行、 ピエゾ電動慣性駆動を備えた超小型ミニチュア翻訳ステージ。 ...

ストローク: 3.5 mm
速度: 1.5 mm/s

... 私たちのポートフォリオでは、 圧電慣性駆動を備えた超小型ミニチュア翻訳ステージ15 x 15 mm フットプリントのコンパクト設計最小の製品を持つ3.5mm 旅行。 ...

ストローク: 8 mm
速度: 1.2 mm/s

... さまざまな応用分野で30 x 30mmのフットプリント で8mmのトラベル。 アダプタプレートなしのオールラウンドなマルチ軸の組み合わせは、 ピエゾ電気慣性駆動を備えたミニチュア変換ステージです。 ...

ストローク: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s

... -8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。 - 最大2種類のモーターを使用し、高負荷の動作に対応 - 異なるモーターバリエーション。ナノモーション、ピエゾモータ、リニアモータ - XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能 - ...

ストローク: 50 mm
速度: 2.5, 25 mm/s

... アパーチャとクロスローラベアリングを採用したXYステージは、高真空、超高真空、極端な紫外線下での用途に高いダイナミクスとスピードを提供します。そのサイズに比べ、非常に小さなステップサイズを可能にします。 ピエゾモータを搭載し、ナノメートル領域での微小なステップを実現し、ほとんど到達できないほどの位置安定性を実現しています。ナノモーションにより、非常に高いダイナミクスと高速性を実現し、マイクロメートルレンジの精度で最大限の耐用年数を達成しています。 MT105リフティングステージと簡単に組み合わせることができるため ...

... 10E-8 mbar - 最大ベークアウト温度100°C オプションで構成可能 - 磁性体バージョンと低磁性体バージョンを用意 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式を採用 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - コントローラFMC400/450をオプションで提供 高精度かつダイナミックな画像処理 コンパクトでフラットな回転ステージは、真空中の高速プロセスで極めて高い解像度を実現します。79mm ...