SmarActの単軸ポジショニングステージ

ストローク: 100, 50 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 4 µm

... ドライ運転でも非常に長い寿命 オプションで設定可能 - ピエゾブレーク搭載可能 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - コントローラFMC400/450をオプションで用意 ナノメートル領域での安定性 最大10kgまでの高荷重にも対応 高真空や超高真空など、過酷な条件下で高い剛性を持つ負荷を位置決めするためのリニアステージです。ピエゾ式キャリパーブレーキ ...

ストローク: 50 mm - 1,520 mm
速度: 0 m/s - 1.27 m/s

ストローク: 10 mm - 950 mm

ストローク: 24 mm - 75 mm

... ショートモータ位置決めテーブル同軸駆動 当社のモータ位置決めテーブルは、機械やデバイスのタスクを調整し、位置決めするための安価で頑丈なソリューションです。 高精度で耐久性のあるガイドラインは、振動を低減し、衝撃や環境への影響に対して敏感ではありません。 スライドブッシングとスピンドルナットは、ドライ操作に適しています。 ...

ストローク: 100, 50 mm
速度: 0.1 m/s

ストローク: 0 mm - 0 mm

... - 単軸 - ミラーポジションシステム - 分離型エレクトロニクス不要 -小型ピエゾ式スマートステージ シンプルで高精度なポイントツーポイント位置決め用コントローラ。 直径わずか12mmのこのシステムは、限られたスペースでの精密なポイントツーポイントビームステアリングに最適です。 ...