STEINMEYERの回転式配置システム

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.002 µm - 2.4 µm
ストローク: 135 mm
速度: 10 mm/s - 50 mm/s

... 光学レンズ、シリンダーの位置決め用X Phiシステム カスタマイズ可能： - ウェハーや光学部品などの円形部品の光学測定に最適 - ストロークのある高精度回転運動により、ローディング軸の追加購入を節約 - 0.0017までの高い繰返し精度 - Xで1.9 µmを正確に測定位置に移動 このX-Phi位置決めシステムは、高精度で耐久性に優れた標準軸のPMT160リニアステージと、回転用のDTS130-HMで構成されています。試料を測定位置に正確に移動させる測定アプリケーションに最適で、追加の送り軸 ...

繰返し精度: 1, 0.8 µm
積載量: 5 kg
ストローク: 5, 15 mm

... までの垂直周りの回転が可能です。R(Phi)の動きはXYの組み合わせから得られます。 仕様 - 標準コンポーネントLA85 (XYRz) - トラベル：± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z) - 繰り返し精度：± 1.6 - ± 2.1 µm (XY) / ± 0.001 - ± 0.002 µm (Rz) - 位置決め速度: 30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz) - 最大荷重250 ...

繰返し精度: 0 µm - 1 µm
積載量: max 2.0 kg
ストローク: 3 mm - 4 mm

... ファイデルタポジショニングシステム カスタマイズ可能 - 0.007 µmまでの超高分解能 - 最大位置決め精度（RxおよびRyで±1.5 - 最大20 Nの負荷容量 - 堅牢な自己保持型スライディングスレッドドライブによる0.07 µmまでの微細な動作 - ソリッドベアリングジョイントによる最高の耐干渉性 - すべての自由度を使用して±0.5 µmまで絶対的に一定の繰返し精度 - 5軸制御エレクトロニクス内蔵により非常にコンパクト - ...

積載量: 0 g - 2,000 g
ストローク: 3 mm - 4 mm
速度: 0.4 mm/s - 5 mm/s

... することができます。また、このマニピュレーターとクロス透過型ライトテーブルやクロステーブルにより、XY方向に大きな移動範囲を持つ5軸マニピュレーターを実現することができます。例えば、KDT310、KT310、KDT235をXYシステムとして使用することができます。 仕様 - 標準コンポーネント：MT63-SM（Z、Rx、Ry） - トラベル：4 mm (Z) ...

繰返し精度: 0.001 µm - 3.5 µm
積載量: 6.5 kg
ストローク: 4 mm - 20 mm

... XYZ-θ-Phi-δ位置決めシステム（クリーンルームISO 5） カスタマイズ可能 - 最大300 mm / 12 "までのウェハーおよび光学部品の自動検査に最適 - 2.5μmまたは±0.005°の高い繰り返し精度 - 520 x 600 x 155 mmの卓越した精度、剛性、コンパクト性 - クリーンルームクラスISO 5までの3シフト運転に対応した設計 6軸マニピュレーターは、水平軸にXYステージ、垂直軸に三脚と2つのチルトを備え、直交運動と平行運動の長所を1つのシステムで実現しています。 仕様 ...