精密圧力伝送器

測定したい圧力のタイプを決定したら、センサー技術をチェックします。 ピエゾ抵抗圧力センサでは、圧力が感知素子に力を及ぼし抵抗の変化が生じます。 ピエゾ抵抗型圧力センサは高感度であり、頑丈で耐熱性が良好ですがその出力信号は弱いです。 圧電型圧力センサでは、 圧力が圧電材料の素子に力を及ぼし、それによって素子の両端に電圧を発生させます。 これらのセンサは広範囲に測定でき、耐熱性も非常に良好です。 一方で出力信号は弱く、ピエゾ抵抗センサより正確ではありません。 静電容量型圧力センサ では、ダイアフラムがコンデンサのプレートの一枚を構成します。 圧力の影響で膜は変形しコンデンサの容量が変化します。 これらのセンサは優れた精密さと感度を提供し、おおよそ1ミリバ－ルの低圧を測定することができます。 しかし測定値を不安定にする可能性があるため、振動を好みません。