回転ナノ位置決めステージ

積載量: 2 kg

ナノモーションFBGシリーズのゴニオメータステージは、ステージ上のピボット軸に沿って傾斜可動させます。ステージ設計は、２軸をまとめて共通ピボット軸に沿って傾斜させることを可能にしています。 ゴニオメータステージは、曲面上のテープ目盛りの他に、ダイレクト光学エンコーダを採用し、最高1アーク秒の分解能を実現しています。

ナノモーションFBRシリーズのロ―タリステージは、高精度回転モーションの最小面積を実現しています。周囲の直径60mmのセラミックリングと高精度のクロスローラ回転ベアリングの組合せと、非接触光学エンコーダで構成されています。FBR60は、0.5アーク秒までの分解能のエンコーダ、そして異なった速度/トルクの要件に合わせて単一又はマルチモータの構成が可能です。

積載量: 2, 1.5 kg

... ANT95Rダイレクトドライブ回転ステージは、前例のない位置決め内安定性と0.01秒以下のインクリメンタルモーション性能を提供し、2つの精度等級で提供されます。コンパクトなサイズで、他のモーション軸やシステムとの統合が容易です。 -0.01秒角の分解能 -0.005秒角の位置決め安定性 -優れた誤差モーション仕様 -多軸構成 -高い動的性能 -限定回転と無制限回転の両方に対応 多軸機能 ANT95Rシリーズは、AerotechのANTリニアステージ製品と互換性があり、簡単に統合できるように設計されています。これらのステージを組み合わせることで、ほとんどすべてのナノ製造または検査用途に精度、安定性、小型性能能力を提供します。 ...