3軸ナノ位置決めステージ

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XYナノ位置決めステージ / XYZ / 圧電 / 3軸
XYナノ位置決めステージ
P-517, P-527 series

ストローク: 130, 250, 100, 200 µm

... -2 軸および3 軸バージョン(XYおよびXYθZ) -200 µmの移動範囲 -サブナノメータ分解能 PICMA® ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 PICMA® ピエゾアクチュエータは、すべてセラミック絶縁されています。 これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障からそれらを保護します。 PICMA® アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べて最大 10 倍の寿命を提供します。単一故障のない1,000 億サイクルが実証されています。 ゼロプレイのフレクチャーガイドによる高いガイド精度 のフレクチャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。 ...

リニアナノ位置決めステージ / 圧電 / 3軸 / 小型
リニアナノ位置決めステージ
NPX series

ストローク: 0.1, 0.2, 0.4 mm

... NPX Piezo Stack リニアステージは、コンパクトなパッケージで、1 軸、2 軸、または3 軸で長いトラベルおよびサブナノメーターの分解能モーションを提供します。 これらのデバイスは、高速応答と高速セトリング性能を特長とし、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステッピング、または連続スキャンなどの動的プロセスで使用できます。 サブナノメートル圧電位置決め分解能 X、XY、またはXYZでのモーション 最大 400 µmの圧電移動範囲 (オプション)クローズドループ動作用の統合型ひずみゲージ 高ダイナミックアプリケーション向け高共振周波数 バキュームバージョン ...

XYZナノ位置決めステージ / リニア / モーター式 / 3軸
XYZナノ位置決めステージ
LPMW

ストローク: 200 µm