分光器

... プラズマを用いた半導体薄膜プロセスにおける終点検出やプラズマ状態管理を目的とした、発光分析型終点モニターです。新開発のRapture Intensityアルゴリズムにより、微弱な信号変化を捉えることで正確な終点検出が可能です。発光の微妙な変化を捉えることができるため、感度が大幅に向上しています。また、ノイズ耐性の強化により、24時間稼働の製造ラインなどの過酷な環境下でも高い安定稼働を実現しました。 特徴 開口率F/2の明るいグレーティング 堀場製作所ジョバンイボン社製の直径70mmの大型収差補正凹面格子を採用することで、明るい光学系を実現しています。凹面格子自体の集光能力により、ツェルニー・ターナー分光器よりも明るく、ミラーなどの反射面による反射損失を抑えることができるシンプルな光学系を構築することができます。 高感度・高解像度の裏面照射型CCDラインセンサー（2,048ch）を搭載 裏面入射型CCDは、高い量子効率を実現し、紫外域から可視域までの幅広い領域で安定した分光を可能にします。特に紫外域での高感度測定が可能なため、干渉の影響を受けにくい波長域での終点検出が可能です。 ...

... レーザー誘起ブレークダウン分光法による証拠品の元素分析のための ECCO2は、紙、ガラス、金属、塗料、繊維、鉱物、銃器の残骸などを対象としたレーザーブレークダウン分光法（LIBS）の分析用に設計されており、300ミクロンの物質の元素分析が可能です。 このシステムでは、高強度のパルスレーザーを試料に照射して気化した物質をプラズマ化し、構成元素の原子スペクトルを発光させます。輝線のデータベースにより、存在する元素の識別とラベル付けが自動的に行われます。 ECCO ...