コンパクトマイクロ配置システム

... スタックドステージと比較して、ヘキサポッドはコンパクトな構造で複雑な多軸モーションの簡単でエレガントなソリューションを提供します。専用ファームウェアは、2つの座標系を使用することで複雑なモーションのプログラミングを簡素化し、座標変換を自動的に計算することで、モーションのプログラミングを簡単に行うことができます。シミュレーションモードですべてのヘキサポッドを試すには、ここをクリックしてHexavizシミュレーションソフトをご覧ください。 -1台で6軸の独立した運動が可能です。 -軽量かつコンパクトな設計で、高い剛性を実現。 -可動ケーブルがない -RightPathトラジェクトリーコントロール -ソフトウェアで設定された2つの仮想回転中心 -HexaVizシミュレーションソフトウェア 特徴 パラレル・キネマティック・モーション 六脚は、最大6軸の独立した軸で高い負荷容量と精度を必要とする複雑なモーションアプリケーションのための独創的かつ効果的なソリューションです。パラレルキネマティックモーションは、6自由度（X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー）の多軸位置決めをコンパクトに実現する装置です。複数のステージを積み重ねる代わりに、ヘキサポッドは可動ケーブルがなく、全体として低コストで、誤差補償された動きを提供することができます。 高精度アクチュエーター アクチュエータの品質は、ヘキサポッド全体の運動性能に決定的な影響を及ぼします。HXPのトッププレートは、55年以上にわたるニューポートのアクチュエーターに関する専門知識を生かし、リードスクリューナットのエンコーダフィードバックにより、業界で実績のある6つの高性能アクチュエーターで駆動され、正確な最小インクリメンタルモーション、低バックラッシュ、高速性を実現しています。 ...

... 高速・高精度マイクロポジショナ - HV / UHV / EUV、移動量20 - 50 mm、繰り返し精度0.2 µm、荷重1 kg - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - さまざまなモーターバリエーション。ピエゾモーターまたはナノモーション - ...

... MP53-3-PM - 真空コンパクト多軸システム 高分解能マイクロポジショナー - HV / UHV / EUV、移動量10 mm、繰り返し精度0.2 µm、荷重0.5 kg - 真空: 全範囲 HV / UHV / EUV - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしを選択可能 - 0.005 µm までの繰り返し精度を実現する高分解能測定システムをオプションで用意 - ...