USB 2.0監視システム

C10346-01は、半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。各種解析機能により、「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。 仕様 • 型名 : C10346-01 • 測定波長範囲 : 200 nm～950 nm • 測定波長精度 : ±0.75 nm • 波長分解能（FWHM） ...

... シングルチャンネル速度モニター E16521D.1 SIL2までの安全要求の強化に対応 BRAUN のシングルチャンネル速度モニタ E16521D.1 は、SIL2 / IEC 61508:2010 に準拠し、より高い安全要件に対応します。モーター、ポンプ、フィーダー、ギア、ローラー、小型タービンを監視します。この装置は、停止状態を含む任意の必要な回転速度において、オーバースピードからの保護を提供します。 特別に設計された信号入力は、当社の実績ある差動ホール効果ベースのA5S...センサーに完全に適合しています。 単一チャンネル処理（1oo1）の場合、安全性の確保は、装置構成によってのみ決定されます。したがって、統合された妥当性制御を備えたセンサーモニタリングの使用が不可欠です。この場合、冗長性はありません。万が一、故障が検出された場合、システム全体が即座にシャットダウンされます。 -SIL2 ...

... シングルチャンネル速度モニター E16521D.2 SIL2までの安全要求の強化に対応 BRAUN のシングルチャンネル速度モニタ E16521D.2 は、SIL2 / IEC 61508:2010 に準拠し、より高い安全要件に対応します。モーター、ポンプ、フィーダー、ギア、ローラー、小型タービンを監視します。この装置は、停止状態を含む任意の必要な回転速度において、オーバースピードからの保護を提供します。 特別に設計された信号入力は、渦電流センサ（EC）に完全に適合します。 単一チャンネル処理(1oo1)による安全対策は、装置構成によってのみ決定されます。そのため、統合された妥当性制御を持つセンサーモニタリングの使用が不可欠です。この場合、冗長性は確保されない。万が一、故障が検出された場合、システム全体が即座にシャットダウンされます。 -SIL2 ...

... シングルチャンネル速度モニター E16521D.3、SIL2までの安全要求事項の強化に対応 BRAUN のシングルチャンネル速度モニタ E16521D.3 は、SIL2 / IEC 61508:2010 に準拠し、より高い安全要件に対応します。モーター、ポンプ、フィーダー、ギア、ローラー、小型タービンを監視します。この装置は、停止状態を含む任意の必要な回転速度において、オーバースピードからの保護を提供します。 特別に設計された信号入力は、磁気ピックアップセンサー（MPU）に完全に適合します。 単一チャンネル処理(1oo1)では、安全対策は、デバイスの構成によってのみ決定されます。そのため、統合された妥当性制御を持つセンサー監視の使用が不可欠です。この場合、冗長性は確保されない。万が一、故障が検出された場合、システム全体が即座にシャットダウンされます。 -SIL2 ...