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... 超高純度流体ハンドリング＆配管 マイクロエレクトロニクス、ナノエレクトロニクス、太陽光発電、防衛、製薬、航空宇宙施設では、UHP流体ハンドリングとフックアップが必要な場合があります。Vegatecは、超高純度（UHP）仕様と制御を備えたガスおよび液体パネルを能力; 電解研磨ステンレス鋼配管（Ra = 0.2ミクロン） VCR継手 軌道溶接 クラス10クリーンルームでの事前製造 ヘリウム漏れ検出 空気圧バルブ、圧力レギュレータ、マスフローコントローラ、ガス検出器の統合 ...
... 概要
JSR-1ETG-BVシリーズのガス供給ユニットは、単段式減圧弁 VSR-1EL とダイヤフラム式遮断弁を組み合わせ、高純度および産業用ガスの精密な圧力制御を実現します。壁掛け設置およびモジュラー構成を想定し、最大入口圧力100 barに対応、酸素使用の検査も実施済みです。
主な特長
- 壁掛け取気ポイント
- VSR-1ELシリーズ 単段式減圧弁
- 不活性、反応性、可燃性、酸化性ガス向けのクロムメッキ真鍮製本体・ボンネット（最大グレード6.0まで）
- 腐食性ガス向けにステンレス鋼