デジタル時代の実現を可能にするEUVリソグラフィ EUVリソグラフィは将来のマイクロチップの製造方法として、先頭を切っています。半導体業界は何年にもわたって、小型化が今後も進むシリコンウェーハ上構造の露光を可能にする、費用効率が高く量産に適した方法を探し求めてきました。ASML、ZeissとTRUMPFは共同で、産業使用に適した波長13.5 nmの極端紫外線 (EUV) を得る技術を開発しました。この技術では真空チャンバー内で、液滴ジェネレータが錫の微小液滴を毎秒50,000個射出します。これらの液滴それぞれに50,000個のレーザーパルスの一つが当たることで、液滴がプラズマに変化します。それにより発生したEUV光を、露光の対象となるウェーハにミラーを使用して向けます。プラズマ放射用のレーザーパルスは、TRUMPFが開発したパルス対応型CO2レーザー装置であるTRUMPFレーザー増幅器から発せられます。 数ワットから40キロワットへ TRUMPFレーザー増幅器は、レーザーパルスを順次10,000倍以上に増幅します。 高い効率とプロセス安全性 プレパルスとメインパルスを放出することで、レーザー増幅器のフル出力を錫液滴に伝えることができます。 CO2レーザーの新しい用途 高出力レーザーシステムの基礎は、連続波モードで稼働するCO2レーザーです。TRUMPFはこれにより、同技術の新しい用途を生み出したことになります。 スペシャリストの大きなネットワーク TRUMPF、ASMLとZEISSは長年にわたる密接な協力体制のもとで、EUV技術を産業界に適したレベルに引き上げました。
出力: 12,000 W - 240,000 W
周波: 2 Hz - 22,000 Hz
... - 単軸パルス幅変調アンプ - モジュール設計により容易に拡張可能 (Model A 6*) - カラーLCDタッチスクリーン - エラー表示とシステムパラメータをわかりやすく表示 - 複数のフィールドレベルを切り替え可能（省エネ用） - 振動試験システムの温度、過電流、オーバートラベル、空気供給を監視する安全管理 - 102kHz±5%の高クロック周波数パワーモジュール - 最大<0.2 %の低歪率 - 主電源スイッチとラインフィルターを内蔵 - 4シグマのピーク電流 - ...
電圧: 0 V - 10 V
電流: 250 mA
周波: 1,000 Hz
... FUTEKのUSB出力付デジタルコンフィギュレーションアンプIDA100は、増幅されたアナログ出力とデジタル出力の両方を持つユニークな機能をユーザーに提供する機器です。IDA100のデュアル出力機能は、USBからの5V出力のみによって駆動されます。また、アナログ出力は±5Vと±10Vをソフトウェアで選択でき、12 mVp-p (millivolt peak-to-peak) の低ノイズ値、1 kHzの帯域幅を有しています。IDA100は、当社のIAAアナログアンプシリーズと同様に、35 ...
電圧: 12 V - 28 V
電流: 25 mA
周波: 1 Hz - 5,000 Hz
... 当社のECOパルスアンプは全てのKEM流量計に装備可能です。アンプシステムには、+150 °Cまでの温度範囲を持つシングルタップと、標準化されたプッシュプル出力段を持つ高分解能または双方向流量測定用のダブルタップがあります。 特徴と利点 流量計用のコンパクト設計 最高+150°C[+302°F]までの中温に対応 スケーラブルなアナログおよびデジタル出力 流れ方向検出 ユーザー設定可能 最大20点までのリニアライズが可能 統合された中温測定 ...
電圧: 0 V - 10 V
電流: 4 mA - 20 mA
... 防水構造 デジタルキャリブレーション 標準信号出力、産業制御に使用 ...
... - 最大8チャンネルの測定が可能なユニバーサルタイプのデジタルストレインゲージアンプです。 - 様々なストレインゲージセンサーとの接続が可能 - CANopenを介したネットワーク接続による完全なシステムソリューション アプリケーション - 最大8つの測定チャンネルを持つユニバーサルなデジタルストレインゲージアンプです。 - 様々なストレインゲージセンサーと接続可能 - CANopenを介したネットワーク接続による完全なシステムソリューション 特別な機能 - 24 ...
AST - Angewandte System Technik GmbH
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