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Repetibilidade: 50 nm
Curso: 62, 102, 17 mm
... dimensões gerais do sistema completo podem ser maiores para poses diferentes. Para mais informações, consulte o modelo CAD na área de descarregamento. A repetibilidade é medida a cerca de 20 mm acima da placa superior de cada sistema, ...
... nanométrica - a máquina de nanoposicionamento e nanometrologia mais precisa do mundo - gama de medição e posicionamento 25 x 25 x 5 mm - resolução de 0,1 nm - sistema de posicionamento e medição 3D da mais alta precisão - ...
... resolução dos interferómetros laser utilizados para o controlo, a arquitetura rígida do sistema de posicionamento, os eixos pneumáticos do sistema de posicionamento e um sistema de controlo optimizado ...
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