Fonte de alimentação elétrica de bancada Trek series

CCajustávelcom proteção contra sobrecorrente

Visão geral As fontes Trek para e‑chuck (electrostatic chuck) da Advanced Energy fornecem controle preciso da tensão de fixação, da tensão de offset e do offset de polarização DC, além de limites configuráveis para over‑current, wafer‑present e wafer‑clamped. Sequências personalizadas de clamp/de‑clamp e formas de onda programáveis otimizam o comportamento de retenção para reduzir wafer sticky e wafer‑popping, melhorando rendimento e throughput na fabricação de semicondutores.

Estado do produto Active

Principais características

• Limites monitorados: over‑current, wafer‑present e wafer‑clamped
• Tensões ajustáveis: tensão de clamp e tensão de offset
• Controle de polarização DC: interno ou externo
• Sequências personalizáveis: clamp/de‑clamp configuráveis e formas de onda programáveis
• Projetado para prevenir wafer sticky e wafer‑popping
• Melhora o throughput, reduz danos às wafers e aumenta o rendimento

Documentação técnica (selecionada)

• Trek 645 Ficha técnica — Ficha técnica — PDF — 111 KB — 6 de fevereiro de 2024
• Trek 645‑HT Ficha técnica — Ficha técnica — PDF — 163 KB — 11 de dezembro de 2025
• Trek 646 Ficha técnica — Ficha técnica — PDF — 116 KB — 18 de fevereiro de 2024
• Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note — Nota de aplicação — PDF — 607 KB — 15 de junho de 2023

Aplicações Para processos de fabricação de semicondutores que exigem controle confiável da alimentação dos electrostatic chucks, incluindo deposição, gravação, implantação e inspeção por feixe de elétrons.

Especificações técnicas

• Parâmetros de controlo: over‑current, wafer‑present, limites wafer‑clamped
• Controlo de tensão: tensões de clamp e offset ajustáveis
• Controlo de polarização: controlo de DC‑bias interno ou externo
• Controlo de sequência: sequências clamp/de‑clamp configuráveis e formas de onda programáveis
• Benefícios principais: reduz danos às wafers, previne sticky e popping, melhora rendimento e throughput
• Modelos referenciados: Trek 645, Trek 645‑HT, Trek 646