Vacuômetro capacitivo de membrana SPG

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O SPG5A-6A é um medidor de vácuo com diafragma de capacitância que utiliza um sensor de pressão com capacitância de safira para alcançar alta precisão e confiabilidade, tamanho compacto e peso leve. Estão disponíveis modelos com auto-aquecimento e sem auto-aquecimento. O SPG5A/6A é especialmente adequado para o uso na fabricação de semicondutores. Características * - Utiliza uma safira de cristal único para excelente resistência à corrosão e a altas temperaturas O material sensor de pressão de safira monocristal resistente à corrosão e ao calor também tem excelentes características mecânicas. A medição capacitiva tem alta repetibilidade mesmo quando usada a alta temperatura * - Medição altamente precisa Tecnologia avançada de processamento de sinais contribui para excelentes características de temperatura e linearidade de medição * - Compacto e leve Pequeno em tamanho e leve em peso, graças à tecnologia de micromaquinagem * - Tempo de aquecimento rápido e controlo estável da temperatura do sensor O controle digital PID baseado em microprocessador fornece aquecimento rápido e temperatura estável do sensor (modelos com auto-aquecimento).