Caminho de fluxo de alta pureza. Superior repetibilidade, estabilidade e tempo de resposta.
O Brooks modelo SLA7840 é um instrumento selado de metal de alta pureza que controla a pressão enquanto mede a vazão. Um sinal de transdutor de pressão remoto, juntamente com eletrônica de controle PID integral ajustável e uma válvula de controle co-planar, mantém a pressão de ajuste desejada. A válvula co-planar reduz a sensibilidade às variações de pressão e oferece menores taxas de vazamento em comparação com outros controladores metálicos selados, garantindo um processo mais estável ao longo do tempo.
Características
- Transdutor de pressão integral
- Tempo de resposta: <1 segundo
- Ampla faixa de medição de vazão com vazões em escala real de 0 - 3 sccm a 0 - 30.000 sccm
- Pressão máxima 500 psig
- Caminho de fluxo totalmente metálico de vedação: 32µ polegada Ra acabamento superficial máximo
- A válvula co-planar oferece taxas de vazamento mais baixas
- Capacidade multi-gás/multi-gás permite o armazenamento e pré-programação de até 10 calibrações e alcances de gás em um único dispositivo
- Opções de comunicação DeviceNet® e analógica
Benefícios
- Maior faixa de controle de válvulas co-planares reduz a sensibilidade às variações de pressão no processo, garantindo um processo mais estável ao longo do tempo
- Todo o caminho de fluxo de metal molhado para manter as partículas, humidade e condições de processo livres de contaminação
- O dispositivo também pode ser configurado como um controlador de fluxo de massa para fins de calibração ou teste
- Capacidade multi-gás/multi-gás reduz o inventário
- Maior faixa de controle fornecida pela válvula co-planar diminui o número de peças necessárias para controlar o processo
- Compacta, com economia de espaço e facilmente retrátil
A comunicação digital oferece fácil comissionamento e cabeamento reduzido do sistema
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