Máquina de deposição PECVD DynaLine

por pulverização catódica de magnétronde filme metalizadoa vácuo

O DynaLine por Leybold Sistema ótico é uma máquina inline modular inteiramente automatizada sputtering com a produtividade a mais elevada para a indústria automotriz. Devido a seu conceito modular, a máquina pode ser integrada em sistemas de transporte inteiramente automatizados e ser personalizada às configurações específicas. As carcaças são carregadas em um portador e processadas subseqüentemente através dos processos de estática do depósito. Os sistemas de bombeamento de grande eficacia, uma movimentação robusta do portador e os sistemas precisos do fechamento do vácuo são umas características mais adicionais desta máquina. Agradecimentos elevados da produtividade ao portador integração-capaz da carcaça - O DynaLine oferece a produtividade top-level para a indústria automotriz, tornada possível por uma configuração do carcaça-portador que possa ser integrada em um sistema de transporte inteiramente automatizado. Agradecimentos flexíveis da configuração de sistema ao conceito modular - O DynaLine é projetado com um conceito modular para a configuração flexível. Este projeto particular permite usuários de expandir effortlessly o sistema com câmaras adicionais. Integrar uma câmara do processo novo é possível mesmo depois um período de diversos anos. A tecnologia avançada do depósito oferece a flexibilidade excelente do revestimento - O magnétron sputter o depósito com interpola o alvo (IPT) para o depósito da elevado-taxa dos metais e o depósito de vapor químico plasma-realçado avançado do mid-frequency (MF) (PECVD) para o depósito do formulário do top-coat do siloxane a espinha dorsal do sistema, oferecendo uma variedade de possibilidades do revestimento.