COBRA DS 0080 / 0160 G
Design Avançado de Parafusos
Eficiente:
manutenção mínima e de baixo custo, tempo de funcionamento elevado
Flexível:
orientado para aplicações
Tempos curtos de processo:
devido às altas velocidades de bombeamento
Robusto:
revestimento anti-corrosão em componentes internos
Design compacto
COBRA DS 0080/0160 G são bombas de vácuo de parafuso seco da comprovada série COBRA DS. As suas elevadas velocidades de bombagem, mesmo em condições em que é necessário um elevado débito de hidrogénio, tornam as bombas de vácuo de parafuso COBRA DS ideais para todos os processos exigentes na produção de células fotovoltaicas, ecrãs planos e semicondutores. A mais moderna tecnologia de bomba de vácuo de parafuso COBRA DS permite a evacuação de pó e partículas.
As bombas de vácuo de parafuso seco COBRA DS possuem compressão seca, um perfil de parafuso especialmente desenvolvido e descarga de gás sem obstáculos. O resultado é um alto grau de tolerância ao vapor e às partículas. Os parafusos são fabricados a partir de uma peça única, evitando lacunas, impossibilitando a entrada de fluidos ou partículas do processo e, assim, evitando a corrosão.
Equipado com motores de alta eficiência, o COBRA DS 0080/0160 G oferece uma excelente eficiência energética. Com baixos requisitos de manutenção, baixos custos operacionais, um tempo de funcionamento muito elevado e um longo ciclo de vida, o custo total de propriedade é muito baixo, estabelecendo o padrão nesta classe de desempenho.
A adaptação destas bombas de vácuo de parafuso aos sistemas existentes pode ser feita rápida e facilmente devido a um design de encaixe.
Aplicações
CVD de plasma de alta densidade (HDP-CVD)
Processamento térmico rápido (RTP)
CVD subatmosférica (SACVD)
CVD metal-orgânico (MOCVD)
CVD com Plasma (PECVD)
CVD de baixa pressão (LPCVD)
Deposição em camada atómica (ALD)
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