Profilômetro interferométrico Tropel® FlatMaster® MSP

industrial

O Tropel® FlatMaster® MSP (Multi-Surface Profiler) é um interferómetro passo-a-passo de frequência que fornece metrologia rápida e precisa para bolachas semicondutoras de até 300mm de diâmetro. Em segundos são recolhidos até 3 milhões de pontos de dados com precisão sub-micrónica permitindo a caracterização total da espessura e planicidade em toda a superfície. A FlatMaster MSP fornece metrologia robusta para uma variedade de aplicações, desde componentes e montagens complexas até materiais transparentes e metrologia de bolachas. O FlatMaster MSP-DH está configurado para medir simultaneamente dois lados de um componente ou conjunto, fornecendo medições de espessura absoluta e paralelismo. A capacidade de medir a planicidade, espessura e variação de espessura de 300 milímetros de vidro e pastilhas de silicone é fundamental para uma integração bem sucedida de conjuntos 3DIC. As sondas de contacto tradicionais ou sistemas de interferometria convencionais são demasiado lentas ou não têm a precisão necessária para campos de visão maiores.