Mesa de coordenadas XY EZ-0745-ZC

Zcom base giratóriacom mancais aerostáticos

O eixo ZC com rolamento de ar EZ-0745 destina-se a ser integrado numa plataforma XY (por exemplo, EZ-0715). Devido ao seu design altamente integrado, apenas é necessária uma altura total reduzida de aprox. 138 mm. O ângulo de rotação é limitado a ± 3°. Uma elevada repetibilidade de ± 1,5 μrad permite um alinhamento muito preciso do substrato. O eixo Z é protegido contra a rotação através de 2 almofadas de rolamento de ar e é dinamicamente acionado por 2 bobinas de voz opostas. Está integrado um cilindro pneumático com rolamento de ar para desacoplamento do peso. É possível um ajuste individual, específico do cliente, do curso Z.