Sistema de posicionamento módulos combinados ZT

XYverticalpara inspeção de wafers e metrologia

A caixa ZT é um módulo que combina dois graus de liberdade, em Z e Theta, numa única unidade. Dois acionamentos são possíveis ao longo da direção Z, um grosseiro e um fino. Este módulo pode ser usado em modo autônomo ou montado sobre uma plataforma XY. Este módulo é especialmente adequado para aplicações de controle de processo de wafer, como metrologia de filme fino, dimensões críticas, etc. Características - Rotação infinita - Fornecimento de vácuo integrado ao nível do mandril do wafer - Compensador de gravidade integrado - Compatível com câmaras limpas ISO1 graças à aspiração a vácuo - Eixo Z grosso com curso de 12 mm para carga/descarga de wafer e Z fino com curso de 4 mm para ajuste do foco - Versão sem um Z grosseiro pode ser feita - Muito bom Z jitter muito bom, bem como mover e resolver Características principais - Repetibilidade bidireccional: ±0,3 µm para Z e ±2 arcsec para T - Precisão de posição: ±0,6 µm para Z e ±3 arcsec para T - Acelera até: 0.1 m/s para Z e 15,7 rad/s para T - Aceleração até: 0.2 g para Z e 104,7 rad/s² para T - Estabilidade de posição: ±5 nm para Z e ±0,2 arcsec para T - Capacidade de carga: 1 kg