Sistema de movimentação e armazenagem automático EUV

Estes sistemas de manuseamento de partículas EUV da Fabmatics cumprem requisitos como a fiabilidade e a limpeza no manuseamento de partículas EUV. Sendo uma tecnologia de iluminação especial utilizada para fabricar elementos de construção microelectrónicos de topo de gama, a tecnologia EUV estabelece os mais elevados padrões de fiabilidade e limpeza no manuseamento de retículos EUV. As soluções Fabmatics cumprem estas normas. Os sistemas de manuseamento para retículos EUV estão disponíveis como dispositivos autónomos, por exemplo, como classificadores de retículos, e como módulos frontais de equipamento, por exemplo, como sistemas de carregamento. Uma porta de carga Fabmatics para cápsulas RSP e cápsulas duplas, uma vasta gama de módulos de deteção, pinças e equipamento de inversão são componentes importantes aqui.