Produtos de limpeza aquosos para pós-adesão compatíveis com alumínio, cobre e ligas metálicas avançadas, camadas antirreflexo, SiO2 e dieléctricos de k ultra baixo
Produtos de limpeza aquosos pós-adesão altamente eficazes compatíveis com processos BEOL de Al, Cu e ultra-baixo-k.
Caraterísticas e vantagens
Ampla latitude de processo
Compatível com aplicações de ferramentas de pulverização e de lote
Vantagem do custo de propriedade em relação aos produtos de limpeza à base de solventes - Enxaguamento direto com água DI
Elimina o custo adicional de produtos químicos de enxaguamento e aumenta o rendimento através da eliminação de passos químicos
Seguro e fácil de utilizar
Compatível com materiais de equipamento de processo avançado
Compatibilidade superior com metais, ILD e ULK
A pureza do produto é continuamente verificada através da utilização de ferramentas analíticas de última geração
Fabricado e embalado em fábricas nos EUA e na Ásia
Diferentes graus, dependendo do tipo de corrosão
Alguns produtos são oferecidos com ou sem surfactante
Consulte a nossa visão geral das aplicações para conhecer os diferentes tipos de corrosão
Opções de embalagem:
garrafas de 4 x 4L
tambores de 200L (de ida ou retornáveis)
contentores de 1000L (de ida ou retornáveis)
Entrega a granel (depende da localização)
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