Sistema de medição da refletância C11295

de luzde espessuraóptico

O sistema de medição de espessura Multipoint NanoGauge C11295 é um sistema de medição de espessura de película que utiliza interferometria espectral. Ele é projetado para medir a espessura do filme como parte do processo de fabricação de semicondutores, bem como para o controle de qualidade do APC e filmes que são montados em equipamentos de fabricação de semicondutores. Permite a medição multi-canal em tempo real, o que proporciona medição multicanal simultânea e medição multiponto em superfícies de filme. Ao mesmo tempo, também pode medir a reflectividade (transmitância), a cor do objecto e as suas alterações ao longo do tempo. Características - Medição simultânea da espessura do filme até 15 pontos - Operação sem referência - Medição estável a longo prazo através da correção da flutuação da intensidade luminosa - Função de alarme e aviso (aprovação/reprovação) - Reflectância (transmitância) e medições do espectro - Alta velocidade e alta precisão - Medição em tempo real - Medição precisa do filme flutuante - Analisar constantes ópticas (n, k) - Controlo externo disponível Especificações Tipo número : C11295-XX*1 Faixa de espessura do filme mensurável (vidro) : 20 nm a 100 μm*2 Reprodutibilidade da medição (vidro) : 0,02 nm*3 *4 Precisão da medição (vidro) : ±0,4 %*4 *5 Fonte de luz : Fonte de luz Xénon *6 Comprimento de onda de medição : 320 nm a 1000 nm Tamanho do ponto : Aprox. φ1 mm*4 Distância de trabalho : 10 mm*4 Número de camadas mensuráveis : Max. 10 camadas Análise : Análise FFT, Análise de ajuste Tempo de medição : 19 m/ponto*7 Forma do conector de fibra : SMA Número de pontos de medição : 2 a 15 Função de controlo externo : Ethernet Interface : USB 2.0 (Unidade principal - Computador) RS-232C (Fonte de luz - Computador) Fonte de alimentação : AC100 V a AC240 V, 50 Hz/60 Hz