O sistema de medição da espessura do NanoGauge Óptico C12562 é um sistema compacto de medição da espessura do filme sem contato, com economia de espaço, projetado para ser facilmente instalado em equipamentos onde for necessário. Na indústria de semicondutores, a medição da espessura do silício é essencial devido à propagação do silício através da tecnologia; e na indústria de produção de filmes, as películas de camada de adesão estão sendo feitas cada vez mais finas para atender às especificações do produto. Portanto, essas indústrias exigem agora uma precisão ainda maior nas medições de espessura que vão de 1 μm a 300 μm. O C12562 permite fazer medições precisas em uma ampla faixa de espessura de 500 nm a 300 μm que inclui o revestimento de película fina e a espessura do substrato de película, bem como a espessura total. O C12562 também oferece medições rápidas de até 100 Hz, tornando-o ideal para medições em linhas de produção de alta velocidade.
Características
- Faz medições que vão desde a espessura da película fina até a espessura total
- Redução do tempo de ciclo (máx. 100 Hz)
- Acionadores externos aprimorados (acomoda medição de alta velocidade)
- A medição simplificada é adicionada ao software
- Capaz de analisar ambas as superfícies
- Medição precisa do filme flutuante
- Analisar constantes ópticas (n, k)
- Controlo externo disponível
Especificações
Tipo número : C12562-04
Faixa de espessura do filme mensurável (vidro) : 500 nm a 300 μm*1
Reprodutibilidade da medição (vidro) : 0,02 nm*2 *3
Precisão da medição (vidro) : ±0,4 %*3 *4
Fonte de luz : Fonte de luz halógena
Tamanho do ponto : Aprox. φ1 mm*3
Distância de trabalho : 10 mm*3
Número de camadas mensuráveis : Max. 10 camadas
Análise : Análise FFT, Análise de encaixe, Análise de constante ótica
Tempo de medição : 3 m/ponto*5
Forma do conector de fibra : FC
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