Sistema de medição óptico C12562-04

de espessurade calibração universalautomático

O sistema de medição de espessura Optical NanoGauge C12562 é um sistema de medição de espessura de película sem contacto, compacto e economizador de espaço, concebido para ser facilmente instalado no equipamento onde for necessário. Na indústria de semicondutores, a medição da espessura do silício é essencial devido à disseminação da tecnologia de via através do silício; e na indústria de produção de películas, as películas de camada de adesão estão a ser cada vez mais finas para cumprir as especificações do produto. Assim, estas indústrias exigem agora uma precisão ainda maior nas medições de espessura que vão de 1 μm a 300 μm. O C12562 permite efetuar medições precisas numa vasta gama de espessuras, de 500 nm a 300 μm, que incluem o revestimento de película fina e a espessura do substrato da película, bem como a espessura total. O C12562 também oferece medições rápidas até 100 Hz, tornando-o ideal para medições em linhas de produção de alta velocidade. Caraterísticas Medições que vão desde a espessura da película fina até à espessura total Reduz o tempo de ciclo (máx. 100 Hz) Accionadores externos melhorados (permite medições a alta velocidade) A medição simplificada é adicionada ao software Capacidade de análise de superfícies Medição precisa de película flutuante Análise de constantes ópticas (n, k) Controlo externo disponível Princípio de medição: interferometria espetral Ocorrem reflexões múltiplas no interior da película fina quando a luz entra numa amostra de película fina. Estas ondas de luz de reflexão múltipla reforçam-se ou enfraquecem-se mutuamente, juntamente com a sua diferença de fase. A diferença de fase de cada luz de reflexão múltipla é determinada pelo comprimento de onda da luz e pelo comprimento do caminho ótico. Por conseguinte, o espetro refletido ou transmitido da amostra apresenta um espetro específico determinado pela espessura da película.