RecipeDirector:
Criação automática de receitas CD-SEM utilizando dados de projeto
DesignGauge-AnalyzerPlus:
Estação de análise avançada de dados para imagens CD-SEM
- A utilização de dados de projeto no RecipeDirector permite a definição automática das coordenadas dos pontos de endereçamento, do ponto de focagem automática e das caixas do cursor de medição sem conhecimentos específicos
- Isto leva à criação de receitas em pouco tempo e à melhoria da disponibilidade do CD-SEM
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