Um sistema de inspeção de superfície de alta precisão para substratos e discos com uma função sofisticada de classificação de defeitos por irradiação laser de multi-destacamento e um método de defeito de inclinação recentemente desenvolvido.
- Deteção de defeitos mínimos com elevada sensibilidade através do método de deteção de defeitos.
- Inspeção no mesmo fuso utilizando várias ópticas.
- Método do refletómetro e do dispersor.
---