Auto série do sistema FDM do reenchimento POCl3
A concessão de HORIBA o sistema de entrega fluido de vencimento que (série de FDM) revolucionou o processo de difusão POCl3 desenvolvendo um sistema para entregar automaticamente o volume POCl3 líquido em 20 litros ETFE alinhou cartuchos de aço inoxidável às embarcações plásticas fixas múltiplas do bebedoiro automático.
As séries de FDM e de VM são usadas para o n-tipo camadas da difusão como um entorpecente na célula solar silicone-baseada de cristal de fabricação.
O sistema pode igualmente ser usado no processo de difusão BBr3, melhorando a estabilidade do processo, uptime crescente, reduzindo custos da logística e da mão de obra e uma segurança mais alta.
Segmento: Semicondutor
Divisão: Sistema de controlo fluido
Empresa de manufatura: Co. Ltd. de HORIBA STEC
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