Sonda de Langmuir Plato

de densidade de plasma

A sonda Plato é uma sonda Langmuir plana projetada para trabalhar em plasmas de deposição quando um filme isolante é depositado na superfície da sonda. Esta Sonda Langmuir tolerante à deposição pode permanecer dentro de um reator de plasma enquanto gases isolantes agressivos estão em uso. O Plato Probe mede parâmetros de plasma como densidade de plasma, densidade de corrente iônica e temperatura de elétrons em plasmas com altas taxas de deposição, como a deposição de vapor químico intensificado por plasma (PEVCD). Por muitos anos tem sido difícil medir os parâmetros do plasma em ambientes de alta deposição. A Impedans desenvolveu uma tecnologia inovadora que mede os parâmetros do plasma, mesmo quando uma camada isolante espessa é depositada na superfície da sonda. A sonda Plato é uma sonda Langmuir plana para plasma de deposição quando um filme isolante é depositado na superfície da sonda. A sonda Plato é a primeira sonda Langmuir do mercado capaz de operar em plasmas com altas taxas de deposição. Uma característica única da sonda Plato é a sua capacidade de medir com precisão os principais parâmetros de plasma através de uma camada depositada de vários mícrons de espessura. A deposição de camadas isolantes não afecta a precisão da medição da sonda. O Plato Probe é um instrumento único que permite aos cientistas medir a densidade do plasma e a temperatura dos elétrons do plasma, incluindo o plasma de deposição. A sonda Plato fornece medição de parâmetros de plasma em DC, RF, microondas, plasma contínuo e pulsado.