Profilômetro óptico Tencor™ P-17

3Dcom estiletepara análise de camadas finas

O Tencor P-17 é um perfilador stylus de bancada de oitava geração, construído com base em mais de 40 anos de experiência em metrologia de superfícies. Este sistema líder da indústria suporta a medição da altura do passo 2D e 3D, rugosidade, arco e tensão para digitalizações até 200 mm sem costura. A excelente estabilidade de medição é conseguida com a combinação de um sensor UltraLite®, controlo de força constante e uma fase de varrimento ultra-plana. A configuração da receita é rápida e fácil com os controlos da plataforma de apontar e clicar, óptica de visualização superior e lateral e uma câmara de alta resolução com zoom óptico. O perfilómetro de ponta Tencor P-17 suporta medições 2D ou 3D, com uma variedade de algoritmos de filtragem, nivelamento e análise para quantificar a topografia da superfície. As medições totalmente automatizadas são conseguidas com reconhecimento de padrões, sequenciação e detecção de características. Características - Altura do passo: Nanómetros a 1000µm - Força reduzida com controlo de força constante: 0,03 a 50mg - Digitalização do diâmetro total da amostra sem costuras - Vídeo: câmara a cores de alta resolução de 5MP - Correcção do arco: Elimina o erro devido ao movimento em arco da caneta - Software: Interface de software fácil de utilizar - Capacidade de produção: Totalmente automatizada com sequenciação, reconhecimento de padrões e SECS/GEM Aplicações - Altura do passo: altura do passo 2D e 3D - Textura: rugosidade e ondulação 2D e 3D - Forma: arco e forma 2D e 3D - Tensão: tensão de película fina 2D e 3D - Revisão de defeitos: topografia de superfície de defeitos 2D e 3D