Sistema de medição de espessura PWG™

de geometriade formade planeza

A plataforma de metrologia de bolacha com padrão PWG™ produz dados completos de forma densa da bolacha, planicidade abrangente da bolacha e nanotopografia de dupla face para fabricantes avançados de NAND 3D, DRAM e lógica. A PWG5™, com alta resolução e amostragem de alta densidade, mede as alterações de forma da bolacha induzidas pelo stress, os erros de sobreposição de padrões induzidos pela forma da bolacha, as variações de espessura da bolacha e a topografia frontal e traseira da bolacha. Com a melhor gama dinâmica da indústria, o PWG5 suporta a monitorização e o controlo em linha da deformação e tensão da bolacha resultantes dos processos de deposição utilizados para fabricar as mais de 96 camadas de dispositivos NAND 3D avançados. O PWG5 identifica as variações de forma do wafer induzidas pelo processo na fonte, permitindo o retrabalho do wafer, a recalibração de uma ferramenta de processo ou a integração com o sistema de análise de dados 5D Analyzer® da KLA para alimentar o scanner com resultados para melhorar a sobreposição no produto e o rendimento geral do dispositivo. Aplicações Monitorização de processos, monitorização em linha, controlo de sobreposição de litografia PWG5™ com opção XT Tecnologias adicionais alargam as capacidades de manuseamento e medição de bolachas do sistema de geometria de bolachas modeladas PWG5 para suportar medições de ligação bolacha-a-bolacha para aplicações avançadas de embalagem ao nível da bolacha. PWG3™ Sistema de medição de geometria de bolacha padronizada de terceira geração, que suporta a monitorização em linha de processos em toda a fábrica para uma gama de tipos de dispositivos lógicos e de memória nos nós de concepção 2X/1Xnm.