A sua solução integrável de orientação de bolachas
O poder da automação da sua fábrica encontra-se com a nossa tecnologia de difração de raios X de última geração. O Wafer XRD 300 é um módulo de metrologia ultrarrápido e de alta precisão para orientação de cristais e controlo da geometria da bolacha.
Conheça o Wafer XRD 300: o seu módulo de difração de raios X de alta velocidade para a produção de bolachas de 300 mm, que fornece dados essenciais sobre uma variedade de parâmetros essenciais, como a orientação de cristais e características geométricas como entalhes, planos e muito mais - concebido para se adaptar perfeitamente à sua linha de processo.
Características e vantagens
Precisão ultra-rápida com a nossa tecnologia de digitalização patenteada
O método utilizado requer apenas uma varredura rotacional para reunir todos os dados necessários para determinar completamente a orientação do cristal, o que proporciona alta precisão em um tempo de medição muito baixo - na faixa de alguns segundos.
Manuseamento e seleção totalmente automatizados
O Wafer XRD 300 foi concebido para maximizar o seu rendimento e produtividade. A integração total na sua automação de manuseamento e classificação torna-o um complemento poderoso e eficiente para o seu processo.
Manuseamento e seleção totalmente automatizados
Fácil conetividade
A poderosa automação do Wafer XRD 300 se encaixa facilmente no seu processo novo ou existente, pois é compatível com as interfaces MES e SECS/GEM.
Alta precisão, visão mais profunda
Compreenda os seus materiais como nunca antes com as medições chave do Wafer XRD 300, incluindo:
Orientação do cristal
Posição do entalhe, profundidade e ângulo de abertura
Diâmetro
Posição e comprimento do plano
Outros sensores disponíveis a pedido
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