Sensor de fluxo MEMS MSL01

de silíciovolumétricode massa

O sensor de caudal de núcleo sensível baseia-se no princípio da transferência de calor. A estrutura do sensor consiste numa fonte de micro-calor localizada na película sensível, um sensor de temperatura a montante e um sensor de temperatura a jusante simétricos em relação à fonte de micro-calor, e um sensor de temperatura ambiente localizado na base de silício. Quando não há fluxo de fluido na superfície do sensor, o campo de temperatura em torno da fonte de microaquecimento é distribuído simetricamente, como em (a); quando há fluxo de fluido na superfície do sensor, o campo de temperatura em torno da fonte de microaquecimento é perturbado devido ao efeito de arrefecimento do fluido na fonte de microaquecimento, e o campo de temperatura a montante e a jusante da fonte de microaquecimento é distribuído assimetricamente, como na Fig. (b); quanto maior for a velocidade de escoamento do fluido, maior será o caudal de gás transportado da fonte de microaquecimento e maior será a assimetria. A velocidade de escoamento do fluido é obtida pela diferença de temperatura entre os sensores de temperatura a montante e a jusante. - Rácio de gama alargada>300:1 - Tempo de resposta rápido <5ms - Caudal de arranque ultra-baixo <0,05m/s - Elevada sensibilidade e precisão Precisão de leitura superior a +/-3% - Peças não móveis, elevada fiabilidade - Adequado para gases e líquidos limpos - Equipamento médico respiratório e de diagnóstico - Controlo de células de combustível - Medidor de caudal de ar para automóveis - Equipamento de gás doméstico - Analisador de espetrometria de massa por cromatografia líquida e de gás - HVAC - Detetor de fugas - Automação industrial