Mesa de coordenadas de translação ATS 2032XYZmotorizadade 3 eixos
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Características
- Orientação
- de translação, XYZ
- Tipo
- motorizado
- Número de eixos
- de 3 eixos
- Curso
MÍN: 50 nm
MÁX: 1.000 nm
- Velocidade
0,01 m/s
(0,04 ft/s)
Descrição
Etapas padrão do AFM motorizado
Tradução Motorizada DeepL para análise de wafer
A translação ATS 2032 motorizada XYZ DeepL foi construída para medições em série em wafers com diâmetros de até 8" e em amostras AFM gerais com uma altura de até 60 mm. Possui movimentos precisos em todas as direções e ímãs para manter as amostras metálicas no lugar. O estágio foi projetado para uso com o microscópio de força atômica NaniteAFM.
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