Sistema de monitoramento de concentração Q-MACS MC
de processode mediçãoóptico

Sistema de monitoramento de concentração - Q-MACS MC - neoplas control GmbH - de processo / de medição / óptico
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Características

Tipo
de concentração
Aplicações
de medição, de processo
Tecnologia
de infravermelho, óptico
Configuração
portátil
Outras características
em linha

Descrição

O Q-MACS Process MC é um sistema de monitorização portátil para a medição online in situ de processos industriais, tais como processos de gravação, deposição e nitretação por plasma. Baseia-se na comprovada tecnologia Q-MACS Basic. Este sistema de medição in situ utiliza a espetroscopia de absorção de infravermelhos para medir concentrações moleculares absolutas dentro da câmara de processo. A ligação ótica ao reator de processo é fornecida através de flanges de vácuo padrão. Sistema com caminho ótico fechado Equipado com 1 a 4 lasers Sensibilidade até à gama ppb Resolução de tempo até milissegundos O Q-MACS Process MC inclui todo o equipamento e software necessários para operar o sistema.

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