O Q-MACS Process MC é um sistema de monitorização portátil para a medição online in situ de processos industriais, tais como processos de gravação, deposição e nitretação por plasma. Baseia-se na comprovada tecnologia Q-MACS Basic. Este sistema de medição in situ utiliza a espetroscopia de absorção de infravermelhos para medir concentrações moleculares absolutas dentro da câmara de processo. A ligação ótica ao reator de processo é fornecida através de flanges de vácuo padrão.
Sistema com caminho ótico fechado
Equipado com 1 a 4 lasers
Sensibilidade até à gama ppb
Resolução de tempo até milissegundos
O Q-MACS Process MC inclui todo o equipamento e software necessários para operar o sistema.
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