Anel O-ring

em PTFEde seção retangularde vácuo

Evolve™, um vedante PTFE-FFKM patenteado pela Parker, destaca-se na utilização em semicondutores, oferecendo uma resistência inigualável ao plasma e uma limpeza superior com a sua barreira de plasma PTFE integrada. Ideal para aplicações de alta tecnologia. A tecnologia de vedação Evolve™ patenteada pela Parker equipa os utilizadores com uma resistência inigualável ao plasma e uma limpeza fenomenal da vedação para aplicações de vedação estática e quase dinâmica em vez de o-rings padrão. Utilizando um escudo de PTFE projetado como barreira de plasma, o vedante de vácuo composto de PTFE-FFKM proporciona um desempenho inovador no equipamento de fabrico de semicondutores, aumentando o tempo de funcionamento do vedante 2X-10X com uma redução drástica das fugas e da contaminação do vedante devido ao ataque de plasma. Isso representa um avanço significativo em relação às soluções tradicionais de vedação com anel de vedação. Ao contrário dos vedantes convencionais, o vedante Evolve foi concebido para evitar paragens inesperadas da ferramenta causadas por falhas no vedante, permitindo que as fábricas programem estrategicamente a manutenção preventiva com base no desgaste mecânico e não na deterioração imprevisível do vedante. Para além das suas propriedades materiais superiores, o vedante Evolve foi concebido a pensar no utilizador. Apresenta nervuras integradas para facilitar a instalação direta e fácil em projetos de ranhuras de vedação existentes, como ranhuras em cauda de andorinha, meia cauda de andorinha e retangulares. Além disso, ele pode ser projetado para configurações de ranhura personalizadas de acordo com os requisitos do cliente, para qualquer número de aplicações estáticas e quase estáticas típicas, incluindo: -Vedações de tampas de câmaras -Válvulas de escape -Vedação de válvulas ISO -Vedação de pedestal de wafer -Vedação da porta da válvula -Vedação da porta de visualização -Vedantes de entrada/saída de gás -Vedações do anel e do bocal de gás -Vedações de janelas -Vedações de encaixe