Faixa de sensibilidade: 0.1 - 5.0 µm
Os processos de fabricação de alta tecnologia requerem frequentemente gases de alta pureza. O Sistema de Sonda de Gás de Alta Pressão HPGP-101-C fornece monitoramento confiável de contaminação em linha para gases de processo à pressão da linha. O Sistema de Sonda de Gás de Alta Pressão é compatível com oxigênio, hidrogênio e a maioria dos gases não tóxicos, e pode ser usado em muitas aplicações de monitoramento de gases reativos. O Sistema de Sonda de Gás de Alta Pressão acelera a qualificação dos sistemas de distribuição de gás de processo e detecta partículas nos gases antes que elas tenham impacto no rendimento. O HPGP é emparelhado com o Sistema de Dados de Partículas, Ethernet (PDS-E), que coleta e informa os dados capturados pela sonda.
Recipiente de contenção de segurança
Compatibilidade com oxigénio e hidrogénio
0.1μm sensibilidade a 0,1SCFM
Oito canais de partícula
Pressões de linha de 40 a 150psig
Cavidade passiva do laser
Sistema de detecção de matriz de processamento paralelo
Verifica a qualidade do gás
Detecta perturbações de processo
Quantifica o impacto das alterações do sistema
Fornece um dimensionamento preciso das partículas
Utiliza o Facility Net Software para armazenamento de dados, gestão, relatórios e alarmes abrangentes
O desenho da cavidade passiva requer manutenção pouco frequente
A purga de gás inerte garante a segurança
Vazamento de gás de amostra para o navio descontinua a alimentação da eletrônica
Qualificação de sistemas de distribuição de gás
Monitoramento de gás de processo
Monitoramento de gás reativo
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