Sistema de revestimento Q 240

O maior sistema da nossa série Q. Perfeito para Wafers múltiplos com tamanhos até 200mm de diâmetro. Dimensões: - L: 760mm W: 775mm H: 775mm Peso: - 100 KG Volume: - 20 Litros Câmara de processo: - vidro de quartzo, 240mm Ø, B: 450mm Saída de micro-ondas: - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt Inclusivo: - 1 canal de gás (sistema de distribuição de gás dentro da câmara de processo), até 3 canais disponíveis Suporte do substrato (opcional): - alumínio, desenho personalizado possível Ligação por vácuo: - DN 40 ISO-KF Ventilação: - válvula electromagnética solenóide Sistema de bombeamento: - até 40m³/h Porta da câmara: - pode escolher entre tipo articulado com porta de visualização e porta de gaveta com varetas de apoio Tamanho das bolachas: - até 200mm, com um número de 50 bolachas