Analisador de oxigênio EXTREL™ VeraSpec™ APIMS

de COde CH4de água

O nosso Espectrómetro de Massa de Ionização por Pressão Atmosférica (APIMS) EXTREL™ VeraSpec™ foi concebido para limites de deteção fiáveis e repetíveis de baixas partes por trilião para o controlo da contaminação em gases de pureza ultra-alta (UHP) utilizados em semicondutores e outras aplicações industriais de alta tecnologia. A contaminação é dispendiosa e, durante mais de 20 anos, o APIMS tem sido o padrão industrial e de investigação para a deteção em linha de componentes de baixo nível de misturas de gases. O nosso VeraSpec APIMS utiliza um filtro de massa quadrupolo tri-filtro de 19 mm na análise de gases de semicondutores para obter o melhor desempenho, fiabilidade e tempo de funcionamento. Os melhores limites de deteção inferiores (LDLs) da indústria para análise de gases a granel Monitorização em tempo real e multi-espécies para TODAS as impurezas críticas em gases a granel, incluindo vestígios de O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, Xe e muito mais Tecnologia de espetrometria de massa potente e bem estabelecida Gama de medição sem paralelo de PPT a 100% com configuração única de ionização de fonte dupla Os fabricantes de semicondutores precisam de ter a capacidade de verificar continuamente a pureza dos gases de processo em tempo real e detetar vestígios de contaminação em concentrações de partes por trilião (ppt) baixas. Monitorize uma vasta gama de gases e misturas de gases com a estabilidade que proporciona a repetibilidade a longo prazo exigida na maioria das aplicações. Pergunte sobre as nossas capacidades APIMS SX5 com Stream Switcher.