Gerador de corrente Bias

de tensãoRF

Gerador de forma de onda de polarização à medida para sistemas de plasma RF A Prodrive Technologies introduz o seu gerador de forma de onda de polarização disruptiva à medida para proporcionar o controlo directo da distribuição de energia de iões de bainha no processamento de plasma. A saída por medida da forma de onda oferece controlo independente sobre corrente e tensão e é medida em tempo real. Este controlo directo da energia do ião da bainha melhora muito o controlo e precisão dos processos de gravação e deposição em comparação com a polarização convencional de RF, permitindo a personalização da distribuição da energia do ião para permitir distribuições muito estreitas e eliminação da cauda. Isto resulta numa velocidade de processo optimizada e na máxima selectividade para características sensíveis. Também reduz o consumo de energia do enviesamento, aumentando a eficiência do sistema em relação às tecnologias convencionais. -Estreita distribuição de energia iónica com eliminação da cauda -Controlo máximo das condições de enviesamento com monitorização da forma de onda em tempo real -Integração rápida com sistemas RF convencionais -Auto-regulação proprietária da forma de onda Vídeo de polarização do gerador de plasma Este vídeo mostra esquematicamente como funciona o enviesamento de formas de onda à medida.