O Pinpoint da Prodrive Technology oferece uma solução de medição de posição de alta precisão para sistemas de movimento precisos. O Pinpoint é ideal para fases (de vácuo) onde a alta fiabilidade e a longa disponibilidade são importantes. A nossa solução caracteriza-se pela sincronização de latência sub-nanossegundo e medição de posição absoluta. Combinamos isto com opções de integração digital sem compromissos para uma sincronização sem falhas entre a medição e o sistema de controlo do movimento. A perícia óptica da Prodrive fornece soluções inovadoras de interferómetro centradas na redução do TCO (custo total de propriedade) para os nossos parceiros de equipamento OEM; reduzindo o custo directo dos sistemas, ao mesmo tempo que proporciona uma redução dos custos operacionais e de manutenção. Há mais de duas décadas que a Prodrive Technologies tem sido um parceiro de investigação, desenvolvimento e produção para a indústria de semicondutores. Combinando esta experiência com o nosso robusto sistema de gestão de qualidade, compreendemos o que é preciso para implementar um controlo exacto da cópia e da mudança, apoiando as nossas soluções desde o conceito até ao fim da vida útil e para além dela.
Número de eixos sensores por MU - 1 - 6
Distância de trabalho - 0 - 6000 mm
Velocidade do alvo - 0 - 1 m/s
Resolução do sensor - 25 pm
Repetibilidade do sensor - 200 pm (Em condições de vácuo)
Largura de banda de medição por eixo - 40 MHz (óptica)
saída digital de 5 MHz
Estabilidade do sinal (2,5s) - 0,1nm
Derivação térmica - < 50nm / C
Modos e características de medição
Modo por defeito - Deslocamento relativo único terminado
Medição diferencial - Incluído
Software de recurso de recepção - Incluído
Medição de distâncias absolutas - Incluído; 20s
Alinhamento do sensor - Manual na cabeça do sensor
Alinhamento do alvo - Laser visível (600nm)
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