Sistema de automação de produção RTA-DIA30000HP-R/L

de processos

● Aplicar em wafers de tamanho 156/230 ● Compatível com diferentes marcas de equipamentos de difusão de wafers e diferentes tamanhos de barco de quartzo Características : ● Carregamento e descarregamento: Cassette ● Saída: barco de quartzo ● Resistência quadrada online opcional, detecção, teste de hidrofilicidade, detecção de peças em falta e detecção de peças de água ● Suporte opcional de interface MES e função de depuração remota ● Estatísticas OEE & Análise do consumo de energia ● Ventosa de cerâmica, engrenagem de inserção rápida em cerâmica ● Faca de ar dividida por íons padrão ● Função MES de suporte opcional e função de diagnóstico remoto ● Interface IGV inteligente opcional ● Máquina inteligente, estatísticas OEE e função de análise de consumo de energia