Aplicações:
Manuseamento eletrostático de materiais, processamento de bolachas semicondutoras, transferência não mecânica de placas planas ou outros materiais processados sensíveis ao manuseamento mecânico
A série EC da Wisman de fontes de alimentação de ventosas electrostáticas controladas por software fornece uma gama de características para satisfazer uma vasta gama de aplicações exigentes. O instrumento utiliza a tecnologia de amplificador Wisman, que demonstrou aumentar a eficiência e o rendimento até três vezes mais do que outras fontes de energia. Reduzir os erros de gás na parte de trás, melhorar o rendimento e eliminar os problemas de aderência/explosão da bolacha; Controlar parâmetros como sobrecorrente, presença de bolacha e limiares de fixação da bolacha, tensão de fixação, tensão de desvio e controlos internos ou externos de amplitude/desvio; A versatilidade do controlo da amplitude/desvio e da saída durante o ajuste; Controlar a saída utilizando E/S do painel traseiro, comandos de computador em série ou controlos do painel frontal; Configurar sequências e formas de onda personalizadas de fixação e remoção de pinças. O desempenho versátil e fiável do EC da Wisman permite a utilização em múltiplas ferramentas e processos únicos sem adicionar novos custos a cada ferramenta ou processo único na instalação.
Características do produto:
Interface de controlo do painel frontal bloqueável;
Cada unidade é fornecida com um certificado de calibração rastreável;
Suporta as tecnologias Coulombic e Johnsen-Rahbek ESC;
Esta secção descreve como carregar o ficheiro de configuração de um mandril eletrostático para o dispositivo e armazená-lo no dispositivo utilizando uma interface de software de fácil utilização;
A deteção de wafer inclui wafer livre, presença de wafer ou estado de wafer preso;
Características:
Entrada: DC24V, 2A;
Saída:
Fase de saída
Indicação da tensão:
Relação: 1V/ 200 V
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