A válvula de alto ângulo de vácuo série XL proporciona uma excelente condutividade térmica, resultando numa temperatura uniforme para todo o corpo da válvula e numa acentuada diminuição da condensação dos gases no interior da válvula. A válvula não contém metais pesados tais como Ni (níquel) ou Cr (cromo) e um baixo rendimento de pulverização também ajuda a minimizar a contaminação por metais pesados das bolachas semicondutoras.
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