Magnetron rotativo SC-Series

de pulverização por bombardeamento iônico

O nosso maior bloco terminal de montagem interna, o SC pode lidar com alvos até 4000 mm e tem uma potência nominal de até 200 kW DC ou 80 kHz MFAC Os blocos terminais de montagem interna da SCI têm alta confiabilidade e um design simples e fácil de manter. A configuração com uma extremidade reduz o número de selos rotativos e estáticos, um dos modos de falha mais comuns nos cátodos rotativos. A nossa função única de enchimento e drenagem de água permite um melhor arrefecimento e drenagem total da água alvo ao soprar. Este desenho elimina a possibilidade de corrosão galvânica no interior do bloco terminal, que poderia levar a fugas de água e curto-circuitos. Os blocos terminais SC da Sputtering Components podem ser instalados em qualquer novo coater ou podem facilmente substituir outros blocos terminais rotativos ou sistemas planares. Características Tecnologia patenteada de fornecimento de energia Método exclusivo de fixação do alvo Selos rotativos duráveis e de longa duração Montagem padrão da indústria para tampa Desenho do alvo não-proprietário Alvo de água patenteado encher abd dreno A barra magnética pode ser ajustada em qualquer ângulo Benefícios A mais alta confiabilidade do mercado Fácil de instalar ou reequipar a partir de blocos finais de competição A mudança de alvo mais rápida disponível 1 hora de manutenção anual; 3 horas de reconstrução total do bloco final O mais baixo custo de manutenção Usar metas de qualquer fornecedor Alta potência, sem impacto de aquecimento indutivo - sem pó de escova Sem corrosão galvânica