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Espectrômetro de massa UGAPM series
de processode monitoramentoPMT

espectrômetro de massa
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Características

Tipo
de massa
Âmbito de utilização
de processo, de monitoramento
Tipo de detector
PMT

Descrição

Os sistemas de vigilância do processo da série de UGAPM são criados analisando processos do gás. O sistema de UGAPM usa uma pressão capilar do único estágio que reduz a entrada aos gás da amostra de 1 mTorr a 20 Torr. Este instrumento é apropriado para a análise em linha desde sua entrada prova consistentemente gás na baixa taxa de fluxo, em aproximadamente 5x10-5 mbar L/sec.

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