Sistema de posicionamento de 5 eixos 782497:006.26

hexápoderotativopara a indústria dos semicondutores

Sistema de posicionamento XYZ Phi Delta miniatura MP200-5 Personalizável: - resolução ultra-alta até 0,007 µm - máxima precisão de posicionamento com ± 1,5° em Rx e Ry - capacidade de carga até 20 N - movimentos mais finos até 0,07 µm devido a accionamentos de rosca deslizante robustos e auto-retidos - máxima resistência a interferências devido a juntas de rolamento sólidas - repetibilidade absolutamente constante até ± 0,5 µm em todos os graus de liberdade - muito compacta devido à eletrónica de controlo de 5 eixos integrada - alimentação eléctrica simples e uma interface de dados padrão formam a ligação ao sistema superior A fase de centragem e nivelamento motorizada move os seus cinco graus de liberdade de forma extremamente consistente. O sistema pode ser movido nas três direcções. Também pode ser inclinado em dois ângulos em planaridade. Especificações: - Componente padrão: MT63-SM - Curso: 4 mm (XYZ) / 3 mm (RxRy) - Repetibilidade: ± 0,07 - ± 1 µm (XYZ) / ± 0,00005 - ± 0,00020 µm (RxRy) - Velocidade de posicionamento: 0,5 mm/s (XY) / 0,4 mm/s (RxRy) - Carga máxima: 20 N - Motor: Motor de passo (SM), correia de rosca deslizante - Feedback: Motor-codificador - Luz transmitida: 45 mm