- Vácuo: todas as gamas HV até 10E-8 mbar
- Líquido de lubrificação até 10E-8 mbar
- Máx. Temperatura de cozedura: 100°C
Opcionalmente configurável:
- Disponível em versões magnéticas e magnéticas baixas
- Selecção do material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação
- Adaptação individual à situação de instalação na câmara
- Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido)
- Opcional com controlador FMC400/450
Imagem altamente precisa e dinâmica
Esta etapa rotativa compacta e plana atinge resoluções extremamente altas no vácuo durante processos rápidos. Devido à grande luz transmitida de 79 mm, mesmo grandes amostras podem ser posicionadas, medidas e analisadas com precisão. Pode ser combinado em sofisticados sistemas multi-eixos e pode ser facilmente controlado através dos nossos controladores FMC 400/450.
Campos de aplicação
Microscopia de alta precisão e dinâmica, por exemplo microscópio electrónico, microscópio iónico, microscópio electrónico de varrimento, microscópio de túnel de varrimento, instrumentação de linha de feixe, sincrotrão, investigação de materiais, análise de materiais, inspecção de bolachas, controlo de qualidade de semicondutores, investigação de semicondutores
---