Sistema de posicionamento para inspeção de wafers e metrologia 782430:002.26

XYZlinearpara sala limpa

Este sistema de inspecção consiste em quatro eixos de sala limpa e permite a medição automática de vários objectos em simultâneo. São conseguidas uma alta dinâmica e a mais alta reprodutibilidade. Uma câmara ou sensor de alta resolução é movido em relação à amostra para inspeccionar geometrias, realizar medições e documentar características especiais de qualidade. Inspecção automatizada e de baixa manutenção 24/7 - Ideal para inspecção automatizada de wafers, cartões de sonda e placas de circuito impresso - Inspecção de vários objectos em simultâneo através de viagens até 720 mm - Ideal para integração de dois processos simultaneamente - Funcionamento 24/7 de baixa manutenção e conceito de manutenção flexível devido à rápida troca do sistema na estrutura de granito Opcionalmente expansível: - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Ligações para exaustão e coberturas de correia rotativa - Disponível também como portal único - Sistema de controlo pronto a usar com controlador pré-configurado incl. software de amostra