Gerador de ozônio de alta concentração OG-5000 Series
de processocompacto

gerador de ozônio de alta concentração
gerador de ozônio de alta concentração
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Características

Características do gás
de alta concentração
Área de utilização
de processo
Configuração
compacto
Fluxo

MÁX: 20 l/min (5,283 us gal/min)

MÍN: 0,5 l/min (0,132 us gal/min)

Pressão de saída

MÁX: 50 psi

MÍN: 15 psi

Produção de ozônio

0,15 kg/h, 0,21 kg/h (0,331 lb/h)

Descrição

A série OG-5000 de geradores de ozônio é projetada para produzir altas concentrações de gás de ozônio ultra limpo para uso em aplicações de semicondutores, incluindo CVD, filme fino ALD, crescimento de óxidos e processos de limpeza de bancada úmida. A série OG-5000 tem um design compacto, refrigerado a água, que pode ser facilmente integrado com o controlador do sistema de ozônio da Teledyne API, detectores de vazamento de ozônio, monitores de concentração de ozônio e destruidores de ozônio. A sua tecnologia comprovada torna-o ideal para uma vasta gama de aplicações de processos de semicondutores. Características - Ozono de alta pureza - Altas concentrações de ozono - Baixo custo de propriedade - Sem consumíveis - Compacto e modular - Tecnologia comprovada Semicondutor - Deposição de Vapor Químico (CVD) - Depósito atômico em camadas (ALD) - Crescimento de óxidos - Condicionamento da superfície - Limpeza de Partículas - Remoção fotorresistente - Ashing - Outros Others

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Catálogos

OG-5000 Series
OG-5000 Series
2 Páginas
* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.