Máquina de deposição PVD Titan DepositionPECVDeletrostáticaa vácuo
Guardar nos favoritos
Comparar
Características
- Método
- PVD, PECVD, eletrostática
- Outras características
- a vácuo
Descrição
A produção comprovada Titan Deposition é um sistema de deposição sem carga com um elevador de cassete a vácuo. Pode ser configurado para PECVD, HDCVD, PVD ou ALD. O Titan Deposition oferece processos inovadores e de vanguarda em uma pegada pequena a um preço acessível.
Foram desenvolvidos processos de produção padrão para a deposição repetitiva de SiOx, SiNx, SiC e a-Si. Tudo apoiado por mais de 25 anos de experiência em desenvolvimento rápido de processos.
Características do Sistema:
Controle PLC e touch screen
Chuck eletrostático ou mecânico
Controle ativo da temperatura do substrato
Elevador de Cassete a Vácuo
Laser opcional e terminais ópticos
---
Catálogos
Não estão disponíveis catálogos para este produto.
Ver todos os catálogos da Trion Technology* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.